物联天下 传感先行-炜盛科技-汉威科技集团全资子公司

English
GST专题
0371-60932951
您的位置:主页 > 新闻中心 > 产品知识

【炜盛专讲系列五】MEMS微流量传感器的基本概述

时间:2015-11-11 16:46来源:炜盛科技 作者:炜盛科技 点击:

今天为大家来带的是MEMS微流量传感器的基本概述内容,全部干货,若觉精彩,记得点赞哦!

简介

MEMS微流量传感器属于热力学流量传感器中的一种,其敏感体主要是采用易于进行微机电加工的硅基半导体材料制成的,也有采用玻璃基体。常见的加热器有铂电阻和多晶硅两种,测温元件有铂电阻、温度二极管、热电偶三种。此种流量传感器主要适用于清洁气体流量测量。

工作原理

芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成:热偶堆对称地分布在加热电阻的上、下游;加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电阻对热偶堆的热结加热。热偶堆热结和冷结之间的温度梯度导致输出电压,即本征塞贝克效应。请参看上图:加热电阻两侧的等温线。当流体静止时,等温线沿垂直加热电阻中部的直线对称分布,加热电阻两侧对称位置的温度是相同的。当流体从左向右流动时,等温线向右侧倾斜。加热电阻两侧对称位置的温度不再相同。温差可由置于加热电阻两侧的热偶堆测定。由于流体的传热只与流体质量和流体的热容有关,因此传感器可直接测出流体质量流量。

主要技术参数:
 

  更小 更大 单位
测量范围 1sccm 300(SLM)  
信号输出 DC: 1- 5 ; 0 - 5 ; 0.5- 4.5  V
工作电压 7.0 14.0 V
工作电流 15 30 mA
精度 0 2.5 %FS
重复性 0 0.5 %FS
耐压②   200 kPa
反应时间 5 15 ms
工作温度③ -25 65
储存温度 -40 90

分类(以我公司传感器为基。

应用

医用设备:呼吸仪、制氧机、肺活量仪、麻醉控制仪

空气和环境保护:空气采样器、气体分析仪、自动注样仪

暖通空调:变风量系统 (VAV)、过滤器监控、风扇通风控制

工业生产及自动化:燃烧器控制、气密检漏
 

使用选型:

应用中注意事项

1、禁止在强腐蚀性气体、有毒性气体、爆炸性气体环境中使用。

2、气体流量介质中含有脏污会降低使用寿命,建议传感器入口前加装5微米精密过滤器。

3、接触到水,溅上水或浸到水中会造成传感器敏感特性下降或损坏。

4、电源正负极接反或电源过压会造成传感器内部电路烧坏。

相关传感器资讯
  • 一分钟搞懂流量传感器
  • www.pepsimudo.com
    友情链接:中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网  中国福彩网