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F2000系列皮拉尼真空传感器

产品详情

F2000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小,同时又具有超低功耗,长寿命,低现场维护,和低成本的优点。 该加热元件(即测量电阻)是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上,空腔底部表面与隔热膜平行,以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极。纯涨蝗莼。,能够提供超低的功耗和快速的响应时间。

 

传感器特点

超低功耗<5毫瓦 

快速响应时间<5毫秒 

耐冲击至1000g 

可测量气体体积最低至0.1 cm3

低噪声

高分辨率

同一芯片上进行温度传感

长期稳定

可用溶剂浸泡清

 

主要应用

分析仪器

使用前级真空的封闭系统的检漏

半导体设备

真空包装机

便携式数字真空计

小型机械系统(如泵)以达到规定的真空度

低成本真空开关来验证1托以下的真空度

 

技术指标

工作温度:-40 °C至125°C (可提供更高温度型号)

湿度:0到100%RH,非冷凝

耐冲击性:1000g

超压:27.5Bar

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